MKS Multi Gas Analyzer線上氣體分析

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  • MultiGas™ 2032 Purity Gas Analyzer - Trace Impurity Impurity Detection

    產品描述

    MultiGasTM 2032 Purity Gas Analyzer 主要用做 ppbb level 低濃度微量氣體檢測, 適用於高純度Bulk Gas中微量不純物檢測. 此外亦可直接用於製程氣體線上監測之用. 主要HS以傅利葉轉換紅外線光譜儀為本體, 其特殊設計為採用5Hz高頻採樣頻率及0.5 cm-1高解析度檢測器. 本機內建 5.11 meters (200 ml) Gas Cell, 可承受高達100L/m高流量氣體分析使用. 內建各式氣體光譜可供即時校正, 搭配液態氮冷凝檢測器(Liquid Nitrogen Cooled MCT Detector) 可連續使用12小時. 除內建氣體圖譜資料庫亦可與市售標準圖譜進行交叉比對
    應用嶺域範籌: 高純度氣體中不純物即時監測, 例如:

    • H2O, CO, CO2, N2O and CH4 in NH3,
    • H2O, CO, CO2, N2O CH4, HF in NF3,
    • H2O, CO, CO2, N2O CH4, HF, HCl, NH3, CH2Cl2, CHCl3 in H2
    • H2O, CO, CO2, CH4, and NH3 in N2O.

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