MKS
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MKS Multi Gas Analyzer線上氣體分析儀
MKS Multi Gas Analyzer線上氣體分析儀本體為傅立葉轉換紅外線光譜儀(FT-IR,Fourier Transform Infrared Spectrometer),外形採 19" Rack Mount Chassis 可攜式設計，亦可100%符合工業規格可置於標準控製箱內使用。共有下列機型分別適用特定應用分析使用。
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MKS RGA/Mass Spectrometry 四級柱質譜殘存氣體分析儀
MKS RGA/Mass Spectrometry為Residual Gas Analyzer的簡稱,一般譯為為殘存氣體分析儀, 其本體為氣體專用四級柱質譜儀. 依其操作環境,真空度量測範圍及應用範籌計有常壓型及真空類型等多種機型可供選擇, 除可直接提供氣體濃度, 分壓數據外, 亦可當作高精密度氣體測漏儀來使用. 詳情請來電洽詢
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Mass Flow Controllor 氣體質量流量控制器
準確及穩定的氣體流量是所有先進製程的基本需求, MKS 的MFC(質量流量控制系統) 可提供全方位的服務保証. 包含標準型MFC, In-situ mass flow verifiers以及flow ratio controllers均能提供高準確性及再現性之氣體流量控制. 此外, 針對熱變化(Thermo base)及壓力變化(Pressure base)需求及單通道/多通道(single /Multiple point)量測及數位/類比(Digital/Analog)輸出亦有對應機型可供選擇
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Pressure Gauge & Valve 高精度壓力錶及閥件
MKS可提供多樣化的真空壓力錶,除搭配各式標準尺吋管路閥件外亦可依業主需求設計客製化控制系統. 搭配PLC 或 SCADA使用可確保系統整合更加便利。
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Umetrics MultiVariate Analysis Software 多變數分析軟體
Umetrics 為美國MKS公司旗下軟體部門, 其功能強大的SIMCA多變數分析軟體可用以監測,模凝,管理多樣化的數據資料, 並能依據指令需求即時提供大量數據分析結果供操作參考以即時修正製程反應步驟,模擬實驗結果,省去不必要的Trial & Error時間,增加效率及競爭性. 無論是學術研究或是產品的研發設計都能快速依客戶須求提供適當的軟體產品服務。