MKS RGA/Mass Spectrometry 四級柱質譜殘存氣體分析儀
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Cirrus 2TM Atmospheric Pressure Residual Gas Analyzer
產品描述
Cirrus 2TM為第二代之常壓型殘存氣體分析儀, 其本體為四級柱質譜儀, 依應用需求計有 1 to 100, 200, 300 amu 及 1 to 6 amu 超高解析度質譜儀可供選擇. 進樣系統標準採用single inlet設計, 若有多組管路需監測亦可加裝4, 8 or 16進樣閥(multi-stream inlet)以供切換序列分析使用. 進樣管路採1/4 inch Swagelok connection, 標準使用 fused silica inlet tubing, 針對特定腐蝕性氣體亦可改裝stainless steel 金屬管柱使用. 質譜儀除可做濃度定量分析之外亦可量測分壓質以利即時監控使用