Mass Flow Controllor 氣體質量流量控制器

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  產品描述

  MKS Residual Gas Analyzer Mass Flow Controllor (氣體質量流量控制器). 包含標準型MFC, In-situ mass flow verifiers以及flow ratio controllers均能提供高準確性及再現性之氣體流量控制. 此外, 針對熱變化(Thermo base)及壓力變化(Pressure base)需求及單通道/多通道(single /Multiple point)量測及數位/類比(Digital/Analog)輸出亦有對應機型可供選擇.
  

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